溫濕度對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量影響很大,例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間溫度不宜超過(guò)25度,濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清理。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)比較好濕度范圍為35—45%。好的凈化工程公司的標(biāo)準(zhǔn)是什么。鄭州化工凈化工程參數(shù)
凈化工程
潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn),目的在于保障操作正常進(jìn)行,滿足必要的談話聯(lián)系及安全舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標(biāo)是:1.煩惱的效應(yīng)由于噪聲,使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒,一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧,比較吵鬧和極吵鬧7個(gè)煩惱等級(jí)。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和極吵鬧者,即為高煩惱,高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率。2.對(duì)工作效率的影響這主要看三方面的反應(yīng)水平,這三個(gè)方面是:集中精神,動(dòng)作準(zhǔn)確性,工作速度;3.對(duì)綜合通訊的干擾這主要分為:清楚或滿意,稍困難,困難,不可能對(duì)以上三方面指標(biāo)都用A聲級(jí)來(lái)評(píng)價(jià)。在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)即各頻帶中心頻率的聲壓級(jí)不得超過(guò)該曲線。后來(lái)了解到刷A等級(jí)來(lái)計(jì)量噪聲與噪聲的語(yǔ)音干擾和煩惱程度更為臺(tái)適,可以代替倍頻帶聲壓級(jí)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)的指標(biāo)。常州凈化工程設(shè)備凈化工程的使用時(shí)要注意什么?
潔凈室的防火分區(qū)根據(jù)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》和《潔凈室設(shè)計(jì)規(guī)范》,潔凈室的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)一般鋼筋混凝土框架結(jié)構(gòu)均滿足二級(jí)耐火等級(jí)的要求。根據(jù)火災(zāi)危險(xiǎn)性,生產(chǎn)分為甲、己、丙、丁四類(lèi),制藥行業(yè)的原料藥生產(chǎn)中大量使用汽油、乙醇等有機(jī)溶媒的廠房,如青霉素提煉部位,原料藥廠的非納西汀車(chē)間的烴化、回收及電感精餾部位,冰片、皂素、安乃近、維生素B。的精制部位.生產(chǎn)中大量使用乙醇、等有機(jī)溶媒,如青霉索提煉廠房、強(qiáng)力霉素提煉廠房等都屬于甲類(lèi)。按火災(zāi)危險(xiǎn)類(lèi)別,在平面布置上可確定防業(yè)分區(qū)而積?;馂?zāi)發(fā)生后,半小時(shí)內(nèi)溫升極快,不燃結(jié)構(gòu)的火災(zāi)初起階段持續(xù)時(shí)間約在5~20mln之內(nèi),起火點(diǎn)尚在局部燃燒,火勢(shì)不穩(wěn),有中斷的可能。因而這段時(shí)間對(duì)于人員疏散、搶救物資極為重要??紤]人群在平地行走速度約為16m/m,樓梯上為10m/mm,附加途中的障礙,若控制疏散距離為50m,約可在4min內(nèi)疏散完畢。當(dāng)然這還需要有明顯的引導(dǎo)標(biāo)志和緊急照明m’疏散距離就是確定安全出口位置的根據(jù)。
國(guó)際化日益加強(qiáng),我們近些年建造國(guó)外的潔凈室也越來(lái)越多,很多國(guó)外潔凈室對(duì)廣招的強(qiáng)度強(qiáng)度要求極高,例如美國(guó)關(guān)于潔凈室的幾個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的要求:一是人工光300lx以上有較好的效果,當(dāng)工件精細(xì)程度更高時(shí),大于500Lx也是允許的。二是對(duì)于特殊照明的地方,為了防止感光材料的感光,必須使用黃色或紅色光源的,應(yīng)滿足其特殊要求選用黃色熒光燈管或低壓鈉燈,黃色熒光燈管也有兩種,一種為燈管內(nèi)壁涂黃色熒光粉;另一種為白色熒光燈管外套黃色塑料套管,他們的光通量比一般熒光燈都要低如電子行業(yè)的光刻車(chē)間,其照度一般為(25—50Lx)。用天然光時(shí)可允許更高的照度,因而對(duì)工作是有利的,所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,這也是為了節(jié)能而出現(xiàn)的一種動(dòng)向。如何正確使用凈化工程的。
氣壓也是潔凈室一個(gè)重要的指標(biāo),對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。否則低潔凈區(qū)一段的空氣就會(huì)因?yàn)殚_(kāi)門(mén)開(kāi)窗或者密封不好的情況下通過(guò)壓力形式進(jìn)入到高潔凈區(qū),給高潔凈區(qū)行成一定的污染。(特殊情況下除外,例如一些生物潔凈室和污染性強(qiáng)的氣體潔凈室一般采用負(fù)壓形式的負(fù)壓潔凈室。)所以通常情況下,潔凈室的壓力差維持一般應(yīng)符合以下原則:1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。潔凈室的壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。哪家的凈化工程性價(jià)比比較高?南通藥廠凈化工程標(biāo)準(zhǔn)
如何選擇一家好的凈化工程公司。鄭州化工凈化工程參數(shù)
半導(dǎo)體制造潔凈室一些工藝生產(chǎn)過(guò)程的潔凈等級(jí)要求:一般的是光照制造,還有微環(huán)境,其他的一些大的區(qū)域,包括薄膜等在百級(jí)。潔凈度的要求是不是越高越好,這個(gè)主要還是決定我們的設(shè)計(jì),或者對(duì)生產(chǎn)的要求,潔凈度越高意味著FU覆蓋率會(huì)成倍的增加。目前對(duì)一些潔凈室的設(shè)計(jì)還是大環(huán)境,不需要很高的潔凈度。還有濕度控制,濕度控制主要通過(guò)循環(huán)通氣冷卻系統(tǒng),去除潔凈室循環(huán)空氣的顯熱,終控制潔凈室溫度。濕度控制主要通過(guò)新風(fēng)控制箱進(jìn)行控制,溫度的控制目的有兩個(gè),首先是人員的舒適性,溫度在21-23度都沒(méi)有問(wèn)題,作為制程來(lái)說(shuō)我們關(guān)注的是波動(dòng)性??刂茲崈舴康臐穸戎饕康氖菨穸冗^(guò)低將容易產(chǎn)生靜電、濕度過(guò)高,對(duì)產(chǎn)品的影響。第點(diǎn)是正壓,通過(guò)潔凈室內(nèi)的壓力傳感器控制MAU風(fēng)機(jī)的頻率改變送風(fēng)量保持潔凈室的設(shè)定正壓,靜壓層保持微正壓。再來(lái)就是照度和噪聲,這個(gè)部分在新的標(biāo)準(zhǔn)里面有詳細(xì)的描述,這里不具體進(jìn)了。因?yàn)楝F(xiàn)在半導(dǎo)體制造設(shè)備尺寸越來(lái)越大,安裝起來(lái)部分照明會(huì)被遮掩,聞聲的問(wèn)題比較難解決,主要在設(shè)備洗型的時(shí)怪注意,接下來(lái)是靜電控制的問(wèn)題(SD),這個(gè)本身會(huì)造成產(chǎn)品的損害或者設(shè)備的損害,半導(dǎo)體有ESD的標(biāo)準(zhǔn)鄭州化工凈化工程參數(shù)
蘇州市華高潔凈技術(shù)有限公司屬于環(huán)保的高新企業(yè),技術(shù)力量雄厚。是一家有限責(zé)任公司(自然)企業(yè),隨著市場(chǎng)的發(fā)展和生產(chǎn)的需求,與多家企業(yè)合作研究,在原有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上經(jīng)過(guò)不斷改進(jìn),追求新型,在強(qiáng)化內(nèi)部管理,完善結(jié)構(gòu)調(diào)整的同時(shí),良好的質(zhì)量、合理的價(jià)格、完善的服務(wù),在業(yè)界受到寬泛好評(píng)。公司擁有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),具有潔凈棚,凈化工程,F(xiàn)FU,貨淋室等多項(xiàng)業(yè)務(wù)。華高潔凈自成立以來(lái),一直堅(jiān)持走正規(guī)化、專業(yè)化路線,得到了廣大客戶及社會(huì)各界的普遍認(rèn)可與大力支持。